Giới Thiệu Bộ Môn Vật Lý Chất Rắn

Hệ chân không đa buồng liên hoàn

Ba buồng chân không liên hợp, chế tạo các tổ hợp màng khác nhau bằng phương pháp PVD hoàn toàn trong chân không, tránh ảnh hưởng của môi trường đến lớp tiếp giáp. Úng dụng chế tạo các OLED trên cơ sở Alq3, PFO, MEH-PPV...

Hệ chân không liên hoàn