Giới Thiệu Bộ Môn Vật Lý Chất Rắn

Hệ PE-CVD

  • Chế tạo màng a-Si:H, μc-Si:H thuần, loại n, loại p
  • Chế tạo các linh kiện điện huỳnh quang, solar cell…dựa trên màng a-Si:H …

Hệ PE-CVD