Giới Thiệu Bộ Môn Vật Lý Chất Rắn

Hệ phún xạ magnetron

  • Chế tạo TCO (màng dẫn điện trong suốt): ZnO:Al, ITO …
  • Chế tạo các oxyde kim loại có độ rộng vùng cấm lớn: TiO2, AlN …
  • Chế tạo các màng trang trí chống mài mòn: TiN…