Giới Thiệu Bộ Môn Vật Lý Chất Rắn

Hệ Thermal-CVD

  • Tạo các nano-wire như TiO2, ZnO….
  • Tạo màng Graphene…
  • Tái ủ nhiệt các mẫu trong môi trường chân không cao hay khí riêng phần như Ar, nitrogen… ở nhiệt độ cao.

Hệ Thermal CVD